题目
更新时间:2024-04-13 10:05:07
求解答,词语对准精度是什么意思?再说说对准精度有什么含义?
答案

对准精度的词语属性

拼音duì zhǔn jīng dù
拼音字母dui zhun jing du
拼音首字母dzjd

对准精度的百科含义

光刻机的对准系统(alignment)负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准,对准精度(Alignment Precision,AP)则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。