题目
更新时间:2024-05-20 05:10:09
求解答,词语光刻技术是什么意思?再说说光刻技术有什么含义?
答案

光刻技术的词语属性

拼音guāng kè jì shù
拼音字母guang ke ji shu
拼音首字母gkjs

光刻技术的百科含义

集成电路制造中利用光学- 化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。随着半导体技术的发展,光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2~3个数量级(从毫米级到亚微米级),已从常规光学技术发展到应用电子束、 X射线、微离子束、激光等新技术;使用波长已从4000埃扩展到 0.1埃数量级范围。光刻技术成为一种精密的微细加工技术。